超高世代TCT-LCD生产线设计技术
超高世代TFT-LCD生产线设计技术
威尼斯wnsr9778工程有限公司与中国电子工程设计院有限公司及中建一局集团建设发展有限公司共同完成“超高世代（10代以上）TFT-LCD生产线设计关键技术研究与产业化”研究成果。
研究成果形成多项10代以上TFT-LCD生产线设计的关键技术创新：
创新点1：提出了具有完全自主知识产权的超高世代TFT-LCD显示器件生产线工艺仿真及组线技术
• 优化了工艺生产流程、设备布局、缩短物流传送距离；
• 使生产线从点亮到量产仅需6个月，产品良率迅速完成稳定在92%以上，创造平板显示产业速度和良率水平。
• 平均节约项目建设安装（不含工艺设备）17%的投资；
• 节省TFT-LCD工厂中洁净室面积20%。
创新点2：首创建立了“高世代TFT-LCD生产线纳米级防微振控制技术体系”
• 提出了基于“原位测试+仿真分析+实验验证”的微振动控制设计方法；
• 自研场地微振动测试数据库，微振动分析模型。
• 提出了精密仪器设备的微振动控制方法，发明了多种型号防微振基台。
创新点3：超大面积洁净环境控制技术+超高洁净度微环境控制技术
• 建立了超大洁净厂房CFD气流仿真模拟技术；
• 研发了净化空调系统温水淋水加湿空气处理技术；
• 保障超大面积（40万㎡）洁净室的超高温湿度精度（温度控制精度23℃±1℃、相对湿度控制精度55%±3%）控制要求。
创新点4：TFT-LCD厂房极端超长的钢筋混凝土结构裂缝控制技术
• 通过选材、设计及施工控制的综合措施，解决了钢筋混凝土框排架厂房的极端超长（550m）无伸缩缝结构的裂缝控制技术。
• 突破了《混凝土结构设计规范》关于室内伸缩缝最大间距55m的要求。
创新点5：研发了高精度、高品质超纯水制备系统
• 首创制订出适用第10.5代TFT-LCD的超纯水水质指标标准，并准确定义各指标参数。
• 研发10.5代TFT-LCD生产线超纯水最佳处理工艺流程；
• 提出超纯水制备的梯级处理系统，实现节能超过20%；
• 工艺冷却循环水系统中确定闭式系统，节能超过35%；
• 首创提出超纯水30%~40%循环附加量的最佳实践；
• 提出超纯水供水管网必须设置三管式同程管网的要求。
创新点6：提出“物化+水解酸化+生物处理+RO”组合方式的电子含氟/碱/酸废水处理技术
• 提出“物化+水解酸化+生物处理+RO”组合方式的电子含氟/碱/酸/有机废水处理技术。
• 通过设置不同的处置流程，控制药剂剂量等方式，实现TFT-LCD废水的清污分流；
• 回收水系统按照TOC浓度，采用多种处理手段，回用于超纯水系统或中水系统，综合回用率可达到70%。
创新点7：基于产品工艺流程的产品制造和工厂建造高效节能技术
• 4次光刻技术，可以缩短工艺时间，降低生产成本，减少原材料消耗，并使设备利用率显著提高，减少设备投资，或在设备配置相同的情况下提高产能约20%。
• 喷墨打印技术，与传统的旋转涂布技术相比，节省60%以上的材料，同时减少工艺步骤和节省能耗。
• 用纯水替代异丙醇清洗技术，有效减少化学品使用及污染物的排放；
• 倾斜式清洗技术，使积存在基板表面的药液量降低40%，所排放的废水浓度和纯水使用量都相应降低。