防微振研究及应用
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防微振研究及应用
随着产业技术向精密化和微细化的发展，其对控制微米级的微小振动而采取防微振措施提出了更高的要求。为达到预期的防微振目标，从厂址的宏观选择，场地的测试，总图布置，工艺设备布置，Tool的要求和特点，结构方案，支持设备，基座平台等方面都应进行防微振方面的考量。威尼斯wnsr9778公司已实施了多个项目的从“结构防微振方案制定”、“设备防微振机台设计”到“整个防微振系统的安装”的全过程服务，达到良好效果，满足工艺生产良品率的需求。
IC/TFT-LCD厂房防微振设计平台建设研究及应用
完成时间：2011.06
课题简介：本项目对以往IC/TFT—LCD项目的结构特行进行总结，分析其刚度、动力特性等，并实地测量相应项目的微振技术参数，最终提出针对性的结构设计方案及精密设备基座平台的方案，完善“15240微振技术规格书”及其有关计算方法。通过研究使高科技厂房的防微振设计具有实用性和系统化。